Pellicle+Mask Inspection System


TSL-PEL-REF

應用

光罩上的Pellicle檢測,避免Pellicle缺陷引起產品不良而造成的報廢和損失。,以提升產品質量

性能特點

設定時間短

參數設定簡單,設定時間小於15分鐘。

自動化送料機構

自動化送料機構可以客製化,適合不同尺寸的光罩盒。

檢查缺點類型

我司一直以來都是獨立開發軟體,擁有超過20年的經驗,即便產品售出後,也能持續幫客戶更新軟體,使機台的功能最佳化。

  • 灰塵、刮傷
  • 毛屑、指紋
  • 細微刮傷
即時資料比對功能

即時資料比對:比較掃描影像與參考圖檔的差異,可檢出圖像偏移、圖像形變、遺漏或增加的圖像等缺點。如:PAD偏移、多PAD或少PAD…等。
支援Gerber RS274X、ODB++、GDSII、DXF 配備獨立工作站,來完成前置資料處理作業,不佔用機台掃描檢查時間。

記錄缺點功能

標註缺陷分佈位置,輸出缺陷分佈圖、座標文件檔。

用途說明

透過光學取像系統,,快速檢視光罩上的Pellicle的各種缺陷,降低因Pellicle不良而造成的報廢和損失,以提升產品質量。


工作原理

模擬顯微鏡的取像原理,使用高能量正投、側投光源照射待檢物,經由精密光學鏡頭組,聚焦至取像系統上端的高解析度感光元件, 以取得影像,再使用電腦(計算機)將影像轉為數值化,隨即採用下列模式,找出Pellicle缺陷。

量測功能

線寬、線距、圓形、矩形、斜矩形、中心距、物間距、長距離量測。

所見即所得

當參數或影像改變時,軟體會自動更新缺點框。讓即時影像隨時顯示新參數的缺點判定結果。

電腦備援系統

雙硬碟/雙作業系統,快速解決系統異常,即時切換,機台不停滯。