Pellicle+Mask Inspection System


檢測能力

Pellicle(光學薄膜) 檢測項目

Pellicle(光學薄膜) 小型汙點
小型汙點

Pellicle的小型污點或落塵

Pellicle(光學薄膜) 大型汙點
大型汙點

Pellicle的大型污點情況

Pellicle(光學薄膜) 刮傷
刮傷

Pellicle上的刮傷

Pellicle(光學薄膜) 毛屑
毛屑

Pellicle上的毛屑掉落物

Pellicle(光學薄膜) 毛屑
毛屑

Pellicle上的毛屑掉落物

Pellicle(光學薄膜) 指紋
指紋

Pellicle層的指紋

Pellicle(光學薄膜) 指紋
指紋

Pellicle層的指紋




Pellicle(光學薄膜) TSL-PEL-DRC 檢查機外觀預覽




Mask光罩缺陷檢測項目       TSL-PEL-REF

針孔
針孔

光罩圖形上的針孔點

汙點
汙點

光罩上的汙點或落塵

刮傷
刮傷

光罩圖形上的刮傷

毛屑
毛屑

光罩上的毛屑掉落物

缺口/凸出
缺口/凸出

光罩圖形上的缺口/凸出

短斷路
短斷路

光罩圖形上的短斷路

圖像大小改變
圖像大小改變

光罩圖像的大小變化

圖像位移
圖像位移

光罩圖像上發生位移




Pellicle(光學薄膜) TSL-PEL-REF 檢查機外觀預覽