Pellicle+Mask Inspection System


檢測能力

檢測項目 - Pellicle

汙點

Pellicle的小污點情況

汙點

Pellicle的大污點情況

刮傷

Pellicle的刮傷

毛屑

Pellicle層的毛屑

毛屑

Pellicle層的毛屑

指紋

Pellicle層的指紋

指紋

Pellicle層的指紋



檢測項目 - Mask

針孔

光罩圖形上的針孔點

汙點

光罩上的汙點

刮傷

光罩上的刮傷

毛屑

光罩上的毛屑

缺口/凸點

光罩圖形缺口/凸點

短路/斷路

光罩圖形短路/斷路

圖像大小改變

光罩圖像大小改變

圖像位移

光罩圖像位移