Pellicle的小型污點或落塵
Pellicle的大型污點情況
Pellicle上的刮傷
Pellicle上的毛屑掉落物
Pellicle層的指紋
光罩圖形上的針孔點
光罩上的汙點或落塵
光罩圖形上的刮傷
光罩上的毛屑掉落物
光罩圖形上的缺口/凸出
光罩圖形上的短斷路
光罩圖像的大小變化
光罩圖像上發生位移