FAQ

常見問題

1. 檢測光罩的紀錄，缺點照片、時間、參數，都會保存起來嗎 ?

會。我們在軟體的設計裡只要執行檢測，所有測試紀錄都會予以保留，歷史紀錄包含參數、時間、檢測範圍、軟體版本、解析度。

良好的底片光罩品質，可以提升產品品質良率，減少不良重工和報廢，光罩上的缺點，諸如斷線、 針孔、刮傷、磨傷痕、線路缺口、線路凸出、異物附著、水漬污痕、線寬細小異常等等，人眼檢查常有眼睛疲勞、看不清楚、速度慢和容易疏忽的缺點，因此使用光罩檢查機來檢查，已是業界業普遍的做法。

1. 模擬曝光機使用背投光之方式做為檢測光源。
2. 使用邏輯判斷(DRC)檢查出線路上不規則與線寬、線距不足的線路。
3. 資料比對檢查，與原始Gerber file做比對的功能。
4. Super 系列有自動對焦功能。

1. 使用邏輯運算之方式，檢測出不規則變化之線路，如缺口、刮傷、污點等缺點。
2. 忽略模型功能，使用建立相同圖形的方法，用來忽略網路及線路上的假點。
3. 對於銳角部份，避開銳角功能，可避免部分不需要檢測之銳角線路。

將掃描後的影像結合為ㄧ張圖，再參考Gerber file模擬實際電流去跑電路，使用此方法檢出電路上短路、斷路等缺點。

1. DX6.0機型只可做DRC檢測及ㄧ般線路量測。
2. DX6.5機型除了有DX6.0的功能外，再加上線上即時資料比對功能和離線的網路比對功能，且在量測能力上，長距離量測功能，可測量底片有無漲縮。

TSL-FVT-DX6 Super High主要檢測線路6um以上之光罩；TSL-FVT-DX6.5主要檢測線路15um以上之底片/光罩。

鏡頭的倍率為20倍，解析度為0.19 µm/pixel。

1. 在DRC檢測方面，不需要Gerber file，光罩亦不需精準的定位，即可做檢測。
2. 在檢測參數設定上可靈活運用，可檢出不同類型之缺點。
3.使用忽略模型功能，避免非實際缺點而被檢測出來的狀況。

TSL-SP7-LS2 檢測最 小的線寬線距為 2.0 um↑/0.75um 。

1. 檢出缺點處會使用不同顏色的方框標示。
2. 方框及文字的大小可於參數設定處做調整。

依照各機種規格。

可使用自動核心參數，讓程式自動計算設定一組參數使用，可再從此參數做細部的調整。

有。提供了方PAD、圓PAD、斜PAD、線寬、線距及最近距離量測。

±1個像素的誤差；使用越高倍率精度越高。

機台配有雷射指示器，該功能就是為了方便定位，且便於找出鏡頭所取像之位置。

使用die to data的方法；不需要考慮到漲縮的問題。

使用AC 單相 220V 60 HZ之交流電。

確保機台發生問題時不會造成停機的問題；在兩顆硬碟中都備有系統及測試程式。

忽略模型是使用圖形建立比對方式來忽略假缺點；主要的目的，減少假缺點被檢出，提高複檢效率。

此數值為缺點面積之像素大小。

資料比對使用die to data 的方式進行比對，主要是針對光繪機多畫或者少畫、漏PAD、LINE等問題。為了配合DRC系統在針對線路邊緣的瑕疵檢測，而無法檢測出資料遺漏所研發出來的資料比對系統。

資料比對工作站是為了配合光罩檢查機做資料比對前編輯Gerber Data所配置的硬體。

本公司自行研發的忽略模型比對以及設定不測區、邊緣略過等功能，可將較特殊的線路圖形，邊框、文字，予以忽略不檢測。

含有蓋印功能，蓋印為紅色原印(一般黑色底片)，棕片則為藍色圓印。

本公司以自行研發軟體聞名業界，在購買機台後一年的保固期間內，會不定期更新軟體版本，保護客戶的使用權益，讓客戶永遠使用到最新的版本，而新版本一定更便利、更迅速、更穩定。

本公司可以讀取ODB++、Gerber data (RS274X)、 DXF、GDSII等格式，由於機台軟體皆由本公司自行研發，前業界對於ODB++為主流，本公司已投入相當資源研發，故其ODB++相容性已達近乎完美。

可以。
1.DRC與資料比對是兩個獨立的檢測系統，其設計理念為，DRC針對細小缺點。如已上線生產過的光罩，檢查刮傷之類等缺點。
2.資料比對系統著重於剛繪製的光罩，光繪機在繪製過程中是否有遺漏資料等問題。

當然可以，本公司的系統可以在每次掃描之前，讓您依照您的建檔習慣命名存檔，配合大容量的硬碟，使您可以隨時查核之前已掃描過的底片，免除重覆作業的時間與可能的疑慮。

請您放心!本公司的系統在檢測時每張可以儲存的缺點張數超過60000張以上，相信已經超越正常的檢測標準，使用本公司的設備您將不會再有這方面疑慮。

1. 檢測IC載板/ITO等的紀錄，缺點、時間、參數，都會保存起來嗎 ?

會。我們在軟體的設計裡只要執行檢測，所有測試紀錄都會予以保留，歷史紀錄包含參數、時間、檢測範圍、軟體版本、解析度。

1. 外觀檢查機可檢查項目少：一般外觀檢查機只針對防焊漆表面汙染、露銅、明顯刮傷… 等一般性缺點，且參數設定時間耗時。
2. 電測無法檢所有料號：線路設計者，通常為了製程方便，會先把線路故意短路在一起，到出貨前才燒斷或切斷，因此不是所有的線路均可依靠電測來檢查。
3. 入料檢多由人工目檢，但僅能粗淺地觀看外觀與表面狀態。無法檢防焊下的線路。

1. DVI is a technology of automated optical inspection, which can inspect deep to the differencefrom semi-transparent layers or semi-reflective layers.
2. DVI equip with a designed optical light path and a specified wave length projection light to control going through a semi-transparent/semi-reflective layer or not, then achieve doing deep vision inspection.
3. This make DVI is different from AOI and AXI. In general, AOI (Automated Optical Inspection) indicates defects on object surface, and AXI (Automated X-Ray Inspection) indicates defects in object inside.

1. Die to Die檢測為Die與鄰近Die的影像明顯不同時， 便會判定為缺點。
2. Die To Golden檢測為將無缺陷的Die當作標準資料(Golden)，將Golden與鄰近Die的影像明顯不同時， 便會判定為缺點。

檢測最小的線寬線距為15um。

1. 檢出缺點處會使用不同顏色的方框標示。
2. 方框及文字的大小可於參數設定處做調整。

依照各機種規格。

使用AC 單相 220V 60 HZ之交流電。

確保機台發生問題時不會造成停機的問題；在兩顆硬碟中都備有系統及測試程式。

本公司以自行研發軟體聞名業界，在購買機台後一年的保固期間內，會不定期更新軟體版本，保護客戶的使用權益，讓客戶永遠使用到最新的版本，而新版本一定更便利、更迅速、更穩定。

1. 可檢測鋼版大小及形式 ?

目前可放置鋼版大小為 750mm×750mm×50(H)mm ; 可檢測範圍為750mm×750mm

開孔錯誤、針孔、孔塞、凸出、孔異物、缺口等缺點。

無法測試。

無法測試。

無法測試。

有。提供了方PAD、圓PAD、斜PAD及最近距離量測 。

±1個像素的誤差；使用愈高倍率精度愈高。

30um。

機台配有雷射指示器，該功能就是為了方便定位，且便於找出鏡頭所取像之位置。

使用AC 單相 220V 60 HZ之交流電。

可檢測有無孔塞的狀況。

以750mm×750mm大小含資料比對，使用倍率為1倍，檢測時間小於1分。

實際掃描的圖像與工作檔的Gerber資料做比對，找出相異的部份。

1. 可修補何種類型的底片 ?

ITO滷化銀(ITO玻璃光罩導電玻璃)

680*540mm。

1um~50um。

1-5mJ/pulse。

本公司有提供底片修補液修補底片，只須用修補筆沾適量修補液至須修補處即可；修補液為快乾式，且無須等修補完之修補液乾，方可直接於修補機上另做修補。

2-4Kg。

使用AC 單相 220V 60 HZ之交流電。

無自動定位之功能；可使用同軸光源輔助尋找缺點位置做修補，且配有雷射模擬光，模擬雷射光修補時光點的大小及角度。

可修補金屬材質之污點、多餘的線路。

使用電動調整，可調動的範圍為100mm。

必需使用20X鏡頭修補；切勿使用5X鏡頭進行修補動作。

使用雷射修補時，請戴上護目鏡。

可以。

一般使用狀況約半年至一年。

可以。

1. 為何要使用治具製作軟體 ?

由於業界PCB板層所LAYOUT的層數愈來愈多，網路數動軋數千條，選取的測試點也相對的增加；人工目視選取的測點，已不符合PCＢ業界趨勢。而採用治具軟體目的，是藉由電腦分析處理，以快速選出正確網路與測點的對應關係，以能正確輸出測試程式，提高PC板良率。

1. 確認Gerber Data讀入格式。例如：單位錯誤：原始資料為英制，程式設定為公制。精度錯誤：原始資料為2,4，程式設定為3,3
2. Dcode格式判讀錯誤。

1. 免費版的螢幕檢修站(WTS-NASX)，只提供檢修找點功能，並不包含編輯功能，所以必需使用宇柏林(WTS-NAS)所產生的檢修資料，方可在螢幕檢修站使用。
2. WTS-NAS可銜接的檢修資料格式如下：
(1) LM-OBJ Data (*.OBJ)
(2) GC-CAM Data(*.IPC/*.NTD)
(3) PAR-CAM Data(*.IPC/*.NTD)
(4) U-CAM Data(*.IPC/*.NTD)
(5) IPC-D-356A Data(*.356)，(*.IPC)
(6) Fabmaster Parts Data(*.ASC)

1. PCB專用測試機：UTRON、KYOEI、TAIYO、FOREVER、MASON、 TTI、PANTECH、READ
2. ICT專用測試機：TRI518、QKANO、TRI-Board View、JET

確認檢修模式設定是否被變更
例：輸入編號採用Dedicate Mode；輸入座標採用Universal Mode。

WTS-1000系統運用在空板(Bare Board)測試，選出的測試點均落在網路的各端點上。
WTS-2000系統運用在實板(ICT)測試，一條網路只會有一個測試點。

1. Dedicate Mode
2. Universal Mode
3. Real ID Mode
4. Read Mode
5. Panel Distance Mode
6. Aps net Mode

1. SHINDENSHI
2. ATG/ AFF+ATF
3. MANIA SPEEDY(*.ADJ / *.SDE)
4. PROBOT(*.HLS / *.NET)

1. IPC-D-356(*.IPC)
2. P-CAD(*.PDF)
3. PADS(*.ASC)
4. PROTEL(*.PCB)
5. MEMTOR GRA(*.FIL)
6. ZUKEN(*.TKY，*.PRT)
7. BOM Data(*.BOM，*.TXT)
8. FABMASTER(*.ASC)
9. CADENCE(*.ICT)
10. Re-Sorted Data(*.RPT)

1. ATG Data(*.ZUO, *.REF)
2. L/M Data(*.UDL)
3. Mania Data(*.PIN)
4. Circuit Line Data(*.SRI)
5. Olitec Data(*.DSP)
6. UCAM/ Circuitline(*.UDL)
7. JMT Data(*.ANZ)

在WTS-NASX系統下，點選「參數設定」→「顯示網路」；使用者可自定大網路的檢查方式。

在TSF Editor系統下或WTS-3000系統下，點選「增/刪點位」功能即可。
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