Pellicle+Mask Inspection System


型號規格比較


【 各類型基本介紹 】

機型 TSL-PEL-DRC TSL-PEL-REF
產品簡述 用於檢測Pellicle層的灰塵/刮傷 用於檢測Pellicle各層的灰塵/刮傷
可檢查光罩上圖案破損、針孔等
待測物種類 Mask
可放置尺寸 12吋光罩盒/可客製化
檢測面積 300mm X 300mm/可客製化
檢測時間 < 15min (單層)
檢測模式 DRC/td> DRC+REF
可檢測區域 pellicle 上、pellicle下、光罩圖形上、光罩背面
檢測缺點類型 汙點/毛屑/刮痕/灰塵/破損/指紋
資料比對功能
資料比對檢測項目 Open/Short、針孔、汙點、刮傷
、圖像偏移、圖像尺寸錯誤等
自動化進料系統
可測最小灰塵 0.5um