底片/光罩檢查機

透過光學取像系統，快速檢視底片/光罩上的各種缺陷，降低因底片/光罩不良而造成的報廢和損失，以提升產品質量。具備可變倍率鏡頭組，可以針對不同規格的待測物進行調整，泛用性更高。

性能特點

檢查速度：

< 35 sec 5 µm/pixel (檢查範圍：500 x 400mm) 檢查能力：

檢測模式：兩種模式可以同時進行，不影響掃描時間
DRC邏輯比對：

資料比對：

簡易的參數設定：

自動核心參數、移去塵埃、忽略空曠區、忽略模型…等。所見即所得：

當參數或影像改變時，軟體會自動更新缺點框。讓即時影像隨時顯示新參數的缺點判定結果。 Review on Fly：

量測功能：

線寬、線距、圓形、矩形、斜矩形、中心距、物間距、長距離量測。即時切換多國語言：

切換多國語言不需重開軟體，適合多語言環境。(繁體中文、簡體中文、英文、日文) 電腦備援系統：

雙硬碟/雙作業系統，快速解決系統異常，即時切換，機台不停滯。自動蓋印功能：

即時標記缺陷位置於底片。