主要是因為光學薄膜(Pellicle)在半導體製造和其他光學應用中扮演關鍵的角色， 其品質直接影響到最終產品的性能和可靠性。
此機種針對光罩及Pellicle的各個層別進行詳細檢測，確保每一層的品質皆符合標準，如下圖ABCD皆有檢測。
