本產品具備卓越的高精度檢測能力，搭配專為Pellicle缺陷檢測設計的專用燈源，能夠檢測到最小0.5um的灰塵和刮痕。
系統能夠檢測各種類型的圖形，無論是簡單還是複雜，均能提供全面的檢測能力，保證檢測的準確性和完整性。
自動化的進出料系統有效減少了人員對光罩的直接接觸，降低了污染和損傷的風險，提升了操作效率和產品質量。
針對光罩及Pellicle(光學薄膜)的各個層別進行詳細檢測，確保每一層的品質都符合標準。
配備高效微粒空氣過濾器（HEPA），能夠過濾掉99.97%的微小顆粒物，提供潔淨的操作環境，進一步減少污染風險，確保產品的穩定性。
專為Pellicle缺陷檢測設計的燈源，提供穩定且高亮度的照明，確保檢測結果的準確性和可靠性。
本產品主機+開盒系統+自動進出料系統整合設計，整體占地面積僅 1350 x 2150 x 1800 mm。這種緊湊的設計大幅度節省了工廠的寶貴空間，使其能更靈活地部署在不同的生產環境中。
