Pellicle+Mask Inspection System


特色功能

高精度檢測

可檢查Pellicle表面及內部的灰塵,也可檢測光罩表面及背面的髒汙。

自動化功能

設備內具有自動送料的系統,放入Mask Package Box即可,減少汙染及損傷

多功能機種選擇
  • TSL-PEL-REF機種Pellicle檢測還可以針對光罩圖形做檢測
  • TSL-PEL-DRC只對Pellicle檢測

軟體自行開發,重視售後服務

我司一直以來都是獨立開發軟體,擁有超過20年的經驗,即便產品售出後,也能持續幫客戶更新軟體,使機台的功能最佳化。

影像畫面即時儲存

掃描時,電腦同步運算缺點並儲存影像。若是產品出問題,也可以利用已儲存的影像來找尋問題所在。


客製化光罩尺寸

最大可放置12吋光罩盒,如有需要更大可客製修改