Pellicle+Mask Inspection System


TSL-PEL-DRC

應用

光罩上的Pellicle檢測,避免Pellicle缺陷引起產品不良而造成的報廢和損失。,以提升產品質量

性能特點

設定時間短

參數設定簡單,設定時間小於15分鐘。

自動化送料機構

自動化送料機構可以客製化,適合不同尺寸的光罩盒。

檢查缺點類型

我司一直以來都是獨立開發軟體,擁有超過20年的經驗,即便產品售出後,也能持續幫客戶更新軟體,使機台的功能最佳化。

  • 灰塵、刮傷
  • 毛屑、指紋
邏輯檢測功能

各式AI人工智慧, 模擬人眼檢查邏輯, 操作簡單, 所見即所得, 不需外部資料也可以掃描檢查。

記錄缺點功能

標註缺陷分佈位置,輸出缺陷分佈圖、座標文件檔。

用途說明

透過光學取像系統,,快速檢視光罩上的Pellicle的各種缺陷,降低因Pellicle不良而造成的報廢和損失,以提升產品質量。


工作原理

模擬顯微鏡的取像原理,使用高能量正投、側投光源照射待檢物,經由精密光學鏡頭組,聚焦至取像系統上端的高解析度感光元件, 以取得影像,再使用電腦(計算機)將影像轉為數值化,隨即採用下列模式,找出Pellicle缺陷。

所見即所得

當參數或影像改變時,軟體會自動更新缺點框。讓即時影像隨時顯示新參數的缺點判定結果。

電腦備援系統

雙硬碟/雙作業系統,快速解決系統異常,即時切換,機台不停滯。