| 機型 | MVS 4 | MVS 6 |
|---|---|---|
| 待測物種類 | 鋼版 | |
| 最適孔徑 | 80 um 以上 | 30 um 以上 |
| 最小可檢缺陷 | 12 um | 5 um |
| 像素解析度 (um/pixel) | 4.0~6.6 | 1.5~5.5 |
| 最大待測物W x D x H(mm) | 750 x 750 x 30 | |
| 最大檢測面積(mm*mm) | 880 x 700 | |
| DRC檢測 | ||
| 即時資料比對與網路比對 | 選配 | |
| Review on Fly | ||
| 資料處理工作站 | 選配 | |
| 量測功能 單畫面精度 長距離精度 |
圓形, 線寬, 線距, 矩形, 旋轉矩形, 中心距, 物間距, 長距離 ±1 pixel ±15um@600mm |
|
| 即時語言切換 | 繁體中文、英文、簡體中文、日文 | |
| 檢測範圍 (mm) 掃描時間 等待複檢時間 |
500 x 400 < 90 sec @ 5.0 um/pix 0 sec |
500 x 400 < 35 sec @ 5.0 um/pix 0 sec |
| 尺寸(mm) | W 1450 x D 1650 x H 1600 | |
| 重量(kg) | 約1000 kg | |
| 電力需求 | 220V(50Hz/60Hz) 1 phase/ under 1KW(額定功率) with Ground Wire | |