底片與光罩檢查起源印刷電路板的大量使用底片與光罩，早期檢測的方式是以”檢查光桌”進行檢查，所需要的人力物力需求過於龐大，而人工檢測可能因為眼睛疲勞、人員疏忽等造成誤判，進而使產品有缺陷或不能出貨。 所以底片光罩檢測由人員檢測演進到AOI底片光罩檢查機進行檢測。
AOI之原理：以電腦程式為核心，鏡頭進行區域掃描受測物品，收集影像，將影像與程式中的參數進行比較，經影像處理，在電腦螢幕上將檢測出的缺陷顯示或自動標記缺點之顯示，供後續人員進行確認或修整。自動光學檢查機亦可將生產過程中所出現的缺陷類型加以收集，供製程人員進行缺點分析及改善。
AOI之優點：