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底片/光罩檢查機
TSL-EX4
功能完善,高性價比;
不需要任何前置處理,立即進行檢測。
針對底片檢測條件,可檢最小缺陷12um,可檢最小線寬/距40um以上。
功能完善,高性價比;不需要任何前置處理,立即進行檢測。針對底片檢測條件,可檢最小缺陷12um,可檢最小線寬/距40um以上。
應用
透過光學取像系統,快速檢視底片上的各種缺陷,降低因底片不良而造成的報廢和損失,以提升產品質量。
性能特點
檢查速度:
< 90sec 5 µm/pixel (檢查範圍:500 x 400mm)
檢查能力:
最小線寬/距:40 µm 以上
最小可檢出缺陷:12 µm
固定倍率鏡頭組:5 um
檢測模式 (DRC邏輯比對):
各式AI人工智慧,模擬人眼檢查邏輯
操作簡單,不需外部資料
可檢查不規則斷裂/連結、針孔、汙點、不規則凹凸、線寬/距不足…等缺陷。
簡易的參數設定:
自動核心參數、移去塵埃、忽略空曠區、忽略模型…等。
所見即所得:
當參數或影像改變時,軟體會自動更新缺點框。讓即時影像隨時顯示新參數的缺點判定結果。
Review on Fly:
無須任何等待掃描完畢的時間,即可進行缺點複檢
從檢測開始到等待複檢時間等於0秒
缺點預覽模式,同時預覽多張缺點,加快複檢時間
量測功能:
線寬、線距、圓形、矩形、斜矩形、中心距、物間距、長距離量測。
即時切換多國語言:
切換多國語言不需重開軟體,適合多語言環境。(繁體中文、簡體中文、英文、日文)
電腦備援系統:
雙硬碟/雙作業系統,快速解決系統異常,即時切換,機台不停滯。
自動蓋印功能:
即時標記缺陷位置於底片。
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