模擬人眼檢測，當底片/光罩的影像違反設計慣例時，即被判定為缺點，可減缺點類型如下：針孔、刮傷、毛屑、汙點、意外凸出、意外凹陷、短路、斷路。可運用參數篩選需要的缺點，藉以提高工作效率。不需要提供額外的比對資料即可掃描缺點。
操作流程簡易，僅需要設定起始和終點，即可進行掃描。
可由人工智慧判斷當前最適合的掃瞄核心參數，迅速找到最恰當的參數設定。配合所見及所得特性，調整參數即時可見。
可忽略線路區域之外的不重要汙點。
根據灰塵的透明度做設定，可忽略透明度較高的汙點。
檢測線路設計上的尖角或是其他類型的假缺點，可使用忽略模型進行過濾。
即時影像與標準資料比對，可檢測遺漏或增加的圖像、圖像偏移及圖像大小的改變；並可同時運作DRC邏輯比對，不需要重複掃描耗費額外的時間。
檢測圖形增減、圖形偏移、大小改變等缺陷。
加強線路邊緣凸起或凹陷等缺點的檢測能力。
