檢測參數可在即時的取像畫面中，直接進行調整，各項參數皆能靈活運用，不須重複掃描即能找出適用參數。
機台同時具備複檢系統，不需要將待測物移至複檢站；複檢畫面就是掃描畫面，減少漏檢的風險。
具有線寬、線距、圓/方PAD、中心距、長距離等。提供使用者更良好的複檢環境。
1. 無須任何等待掃描完畢的時間，即可進行缺點複檢。
2. 從檢測開始到等待複檢時間等於0秒
3. 缺點預覽模式，同時預覽多張缺點，加快複檢時間。
所有掃描完成的畫面都會即時儲存，也具備輸出圖檔的功能，支援各類型的輸出圖檔。(JPG、BMP、PNG、TIFF、TZP)
切換多國語言不需重開軟體，適合多語言環境。(繁體中文、簡體中文、英文、日文) 。
可將掃描的底片資料產生gerber。