大面積光罩檢測，最細小缺陷檢出；自動對焦系統，解決離焦困擾。最小可檢3um缺點。
應用
透過光學取像系統，快速檢視光罩上的各種缺陷，降低因光罩不良而造成的報廢和損失，以提升產品質量。配備自動對焦系統，可以克服光罩變形所造成的離焦。
檢查速度：
< 10 min 0.84 µm/pixel
(檢查範圍：500 x 400mm)
檢查能力：
- 最小線寬/距：8.5 µm 以上
- 最小可檢出缺陷：3 µm
- 固定倍率鏡頭：0.84 um/pixel
檢測模式：兩種模式可以同時進行，不影響掃描時間
DRC邏輯比對：
- 各式AI人工智慧，模擬人眼檢查邏輯
- 操作簡單，不需外部資料
- 可檢查不規則斷裂/連結、針孔、汙點、不規則凹凸、線寬/距不足…等缺陷。
資料比對：
- 即時資料比對：比較掃描影像與參考圖檔的差異，可檢出圖像偏移、圖像形變、遺漏或增加的圖像等缺點。如：PAD偏移、多PAD或少PAD…等。
- 網路比對：比較編修前後圖檔間的網路差異，不檢圖像的形變，只檢以下四種缺點:斷路、短路、減少或多出之封閉圖像。
- 支援Gerber RS274X、ODB++、GDSII、DXF。
即時自動對焦：
檢測過程中由雷射回饋得知高度變化，微動平台快速定位並取像達成對焦。
可調整式活動框架：
簡易的參數設定：
自動核心參數、移去塵埃、忽略空曠區、忽略模型…等。
所見即所得：
當參數或影像改變時，軟體會自動更新缺點框。讓即時影像隨時顯示新參數的缺點判定結果。
Review on Fly：
- 無須任何等待掃描完畢的時間，即可進行缺點複檢
- 從檢測開始到等待複檢時間等於0秒
- 缺點預覽模式，同時預覽多張缺點，加快複檢時間
量測功能：
線寬、線距、圓形、矩形、斜矩形、中心距、物間距、長距離量測。
即時切換多國語言：
切換多國語言不需重開軟體，適合多語言環境。(繁體中文、簡體中文、英文、日文)
電腦備援系統：
雙硬碟/雙作業系統，快速解決系統異常，即時切換，機台不停滯。
